전자 재료를 다이 코터로 기재에 도포하고 있다.
액 공급에는 회전식 정량 펌프를 사용했는데, 다음과 같은 과제를 안고 있었다.

• 펌프의 마모분이 액에 혼입되어, 금속오염이 발생했다.
• 펌프의 마모에 의해 액의 공급량이 저하되어, 막두께가 변화한다.
• 분해/세정/재조립에 시간이 걸린다.

저희 회사 시험 시설에서 스무즈플로우펌프를 사용한 실액 테스트를 반복하여 실시.
기대한 송액 정밀도와 내마모성 평가를 얻었기 때문에, 도입해 주셨다.

• 접액부에 접동하는 부품이 없기 때문에, 마모분이 거의 발생하지 않게 되었다.
• 액 공급량 정밀도가 장기간 안정되어, 수율이 개선되었다.
• 접액부품이 작고 구조도 심플하기 때문에, 분해 세정에 걸리는 시간을 단축할 수 있었다.